Apakah prinsip untuk memilih bahan sasaran?

Bahan sasaran adalah bahan sasaran yang dibombardir oleh zarah energik kelajuan tinggi -. Mereka digunakan dalam senjata laser tenaga tinggi -. Apabila laser kepadatan kuasa yang berbeza, bentuk gelombang output yang berbeza, dan panjang gelombang yang berbeza berinteraksi dengan bahan sasaran yang berbeza, pembunuhan yang berbeza dan kesan merosakkan akan dihasilkan.

Prinsip untuk memilih bahan sasaran

(1) Komposisi Bahan Sasaran Filem ini harus mempunyai kekuatan mekanikal yang baik dan kestabilan kimia;

(2) bahan filem yang digunakan untuk sputtering reaktif mesti mudah untuk membentuk filem kompaun dengan gas reaksi;

(3) Bahan sasaran dan substrat mesti dipasang dengan tegas. Jika tidak, bahan filem dengan kekuatan ikatan yang baik dengan substrat harus digunakan. Pertama, filem asas harus dipancarkan sebelum lapisan filem yang diperlukan disediakan;

(4) di bawah premis memenuhi keperluan prestasi filem, semakin kecil perbezaan dalam pekali pengembangan terma antara bahan sasaran dan substrat, lebih baik, untuk mengurangkan pengaruh tekanan haba pada filem sputtered;

(5) Mengikut keperluan penggunaan dan prestasi filem, bahan sasaran yang digunakan mesti memenuhi keperluan kesucian, kandungan kekotoran, keseragaman komponen, sifat mekanikal, dan lain -lain. Keperluan teknikal seperti ketepatan pemesinan.