Zhenan, apakah kaedah asas yang biasa digunakan untuk ujian bijirin bahan sasaran?

Zhenan, apakah kaedah asas yang biasa digunakan untuk ujian bijirin bahan sasaran?

Bahan sasaran biasanya polikristalin, dengan saiz bijirin dari mikron hingga milimeter. Semakin halus bijirin, semakin besar kawasan sempadan bijian, dan semakin besar kesan terhadap prestasi. Untuk bahan sasaran yang sama, sasaran dengan bijirin halus mempunyai kadar sputtering yang lebih cepat daripada sasaran dengan bijirin kasar. Sasaran dengan variasi saiz bijirin yang lebih kecil (pengedaran seragam) menghasilkan lebih banyak pengagihan ketebalan seragam dalam filem -filem sputtered. Penyelidikan telah mendapati bahawa jika saiz bijian sasaran titanium dikawal di bawah 100 μm, dan variasi saiz bijian disimpan dalam masa 20%, kualiti filem sputtered yang dihasilkan dapat ditingkatkan. Peningkatan yang ketara.

Tiga kaedah asas untuk ujian saiz bijian sasaran
1. Kaedah Perbandingan: Kaedah perbandingan tidak memerlukan pengiraan bijirin atau memintas. Apabila membandingkan dengan siri standard carta penarafan, penilaian saiz bijian menggunakan kaedah perbandingan secara amnya mempamerkan tahap sisihan tertentu (± 0.5 tahap). Kebolehulangan dan kebolehulangan nilai yang dinilai biasanya ± 1 tahap.

2. Kaedah Kawasan: Kaedah Kawasan Mengira bilangan bijirin dalam kawasan yang diketahui dan menggunakan bilangan bijirin per unit kawasan untuk menentukan gred saiz bijian. Ketepatan kaedah ini adalah fungsi saiz bijian yang dikira, dan dengan pengiraan yang betul, ketepatan tahap ± 0.25 dapat dicapai. Keputusan kaedah kawasan tidak berat sebelah, dengan kebolehulangan kurang daripada ± 0.5 tahap. Kunci untuk menentukan saiz bijian menggunakan kaedah kawasan terletak pada mengira bijirin yang jelas menonjolkan sempadan bijian.

3. Kaedah Intercept: Kiraan Intercept dikira dengan mengira bilangan pemintas di mana segmen garis ujian (atau grid) panjang yang diketahui merentasi sempadan bijian. Gred saiz bijian ditentukan menggunakan bilangan pemintas per unit panjang. Ketepatan kaedah intercept adalah fungsi bilangan pencegahan atau pemintas yang dikira, dan boleh dicapai melalui analisis statistik yang berkesan. ± 0.25 ketepatan tahap. Hasil pengukuran kaedah intercept adalah bias - percuma, dan kebolehulangan dan kebolehulangan adalah kurang daripada ± 0.5 tahap. Untuk tahap ketepatan yang sama, kaedah intercept tidak memerlukan penandaan tepat titik memintas atau nombor memintas, jadi ia lebih cepat daripada kaedah kawasan.